TG1400F

■ 任何方向

■ 緊湊尺寸

■ 節能

■ 快速啟動

■ 快速關閉并用煤氣排氣

■ 耐久的氣流沖擊結構

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

應用

■ 半導體生產

■ 電子槍排氣，電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理，表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、測試設備

■ 燈具生產，光學元件生產

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研發

*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M系列或TG系列。

• 規格

• 尺寸

• 性能曲線

• 控制器

*1：使用500升/分鐘的備用真空泵時。

[環境溫度使用]

確保達到壓力的環境溫度范圍是10-23°C。允許的環境溫度為風冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的最高溫度（保證最終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

一些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內部部件。請聯系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。