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技術(shù)文章/ Technical Articles

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  • 2025

    3-15

    TXRF3760系列全內(nèi)反射X射線熒光光譜儀對晶圓表面的污染進(jìn)行無損、非接觸式和高靈敏度分析轉(zhuǎn)子式高功率X射線發(fā)生器和新設(shè)計(jì)的入射X射線單色器過渡金屬LLD10采用直接TXRF測量方法8原子/厘米2達(dá)到水平。在封閉X射線管測量時(shí)間的1/3內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)相同的精度,從而實(shí)現(xiàn)高通量。詢價(jià)詢問有關(guān)產(chǎn)品的問題=thumbnailOffset&&index總結(jié)長處規(guī)范事件TXRF3760概述1個(gè)靶標(biāo)、3個(gè)光束系統(tǒng)這是一種方法,它使用三種類型的光譜晶體來提取被測元素的最佳單色X射線束,并將其...

  • 2025

    3-15

    WaferX310系列用于薄膜評估的X射線熒光光譜儀波長色散X射線熒光光譜儀(WD-XRF)可以無損、非接觸式方式同時(shí)分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。這是一種波長色散X射線熒光光譜儀(WD-XRF),可以無損、非接觸地同時(shí)分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。它與GEM300兼容,并支持300mmFab的在線規(guī)格。XYθZ驅(qū)動式樣品臺(方法)可準(zhǔn)確分析各種金屬膜,避免了衍射線的影響。使用4kW高功率X射線管可以測量痕量元素。此外,通過安裝...

  • 2025

    3-15

    晶圓/磁盤分析儀3650用于薄膜評估的X射線熒光光譜儀對各種薄膜的厚度和成分進(jìn)行同步、無損、非接觸分析這是一種波長色散X射線熒光光譜儀(WD-XRF),可以以非破壞性、非接觸的方式同時(shí)分析最大~200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。XYθZ驅(qū)動式樣品臺(方法)可準(zhǔn)確分析各種金屬膜,避免了衍射線的影響。使用4kW高功率X射線管可對超輕元素進(jìn)行高精度分析,例如BPSG薄膜的痕量元素測量和硼分析。它還與C-to-C傳輸機(jī)器人(可選)兼容。它配備了AutoCal(全自動日常檢查和強(qiáng)度...

  • 2025

    3-15

    AZX400用于薄膜評估的X射線熒光光譜儀將Be~U中的所有元素(包括B、C、N和O)包含在一個(gè)單元中,這些元素是重要的半導(dǎo)體材料波長色散X射線熒光(WDX)光譜儀的**模型WDX具有高信噪比和高分辨率,使用可實(shí)現(xiàn)比能量色散X射線熒光(EDX)儀器更準(zhǔn)確的分析。高功率X射線管和專用于超輕元素的光譜晶體可實(shí)現(xiàn)超輕元素測量,例如B、C、N和O,這是EDX無法實(shí)現(xiàn)的。此外,由于Si的影響,難以用EDX分析的Al超薄膜可以通過高分辨率的WDX清晰分離。=thumbnailOffset...

  • 2025

    3-15

    高精度CNC三坐標(biāo)測量機(jī)STRATO系列初項(xiàng)高達(dá)1μm以內(nèi)高精度下,實(shí)現(xiàn)高速、高加速度驅(qū)動的高速掃描。產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢STRATO-Apex系列是高精度CNC三坐標(biāo)測量機(jī),該系列通過優(yōu)化本體結(jié)構(gòu)、導(dǎo)軌構(gòu)造等達(dá)到高剛性,使設(shè)備在擁有高精度的同時(shí),更實(shí)現(xiàn)了高速、高加速度驅(qū)動。●STRATO-Apex系列檢測各軸位置的標(biāo)尺搭載了與LEGEX系列同等級別的高精度標(biāo)尺(自社研發(fā)),具有很高的檢測功能和超高精度控制功能,通過其他高速控制程序等技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度·高速度測量。●標(biāo)配溫度實(shí)時(shí)補(bǔ)償功...

  • 2025

    3-11

    CRYSTA-ApexV標(biāo)準(zhǔn)CNC型三坐標(biāo)測量機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢CRYSTA-ApexV系列是追求高精度、高速度、多樣性的新一代CNC三坐標(biāo)測量機(jī),為實(shí)現(xiàn)利用IoT深度生產(chǎn)管理和品質(zhì)管理信息的智能工廠提供強(qiáng)力支持。CRYSTA-ApexV系列采用彰顯先進(jìn)性和創(chuàng)造性的煥新設(shè)計(jì),提供可應(yīng)對小型到大型工件測量的豐富產(chǎn)品陣容。CRYSTA-ApexV系列可以確定3D形狀的測量路徑,以自由的測量路徑來測量曲面、輪廓等復(fù)雜形狀的工件。另外,通過實(shí)時(shí)修正工件和公稱值的偏差引起的軌跡誤差,可實(shí)...

  • 2025

    3-11

    QVHYPER302/404/606配備高分辨力、高精度標(biāo)尺的高精度機(jī)型。產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢QVHYPERPro系列是配備高分辨力、高精度標(biāo)尺的高精度型影像測量機(jī)。●配備可瞬間對焦工件的跟蹤自動對焦裝置的機(jī)型,可大幅提高測量效率。●可配備STREAM功能,通過XY主體驅(qū)動與頻閃照明同步,在不關(guān)停工作臺的狀態(tài)下進(jìn)行無停頓影像測量,大大縮短測量時(shí)間。●備有高通用性的白色LED照明機(jī)型和邊緣檢測能力更強(qiáng)的RGB彩色LED照明機(jī)型。●標(biāo)配有使用測量機(jī)主機(jī)溫度傳感器和工件溫度傳感器的自動溫...

  • 2025

    3-11

    ULTRAQUICKVISION超高精度CNC影像測量機(jī)。產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢ULTRAQUICKVISION是實(shí)現(xiàn)測量精度E1XY(0.25+2L/1000)μm的高精度CNC影像測量機(jī)。●X,Y,Z各軸采用本公司開發(fā)的高分辨力(0.01μm)、高精度的低熱膨脹玻璃標(biāo)尺。●Y軸采用高剛性固定橋式移動工作臺設(shè)計(jì),底座采用具熱穩(wěn)定性強(qiáng)的巖石平板。●標(biāo)配有使用測量機(jī)主機(jī)溫度傳感器和工件溫度傳感器的自動溫度補(bǔ)償功能。工作原理影像儀是利用表面光.輪廓光及同軸光照明后,經(jīng)過變焦距物鏡通過攝像...

  • 2025

    3-11

    搭載非接觸式位移傳感器,實(shí)現(xiàn)微細(xì)階差或3D形狀測量的復(fù)合型影像測量機(jī)。產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢QVH4Pro是配備非接觸式位移傳感器、可利用掃描功能測量細(xì)微階差和3D形狀的復(fù)合型測量機(jī)。·配備波長共焦方式的非接觸位移傳感器(色差點(diǎn)傳感器)。即便是反射率不同的材質(zhì)也可進(jìn)行連續(xù)測·位移傳感器采用LED光源,利用自動調(diào)光功能,即便是反射率不同的材質(zhì)也可進(jìn)行連續(xù)測量。一、影像測量儀是采用非接觸式的光學(xué)測量,其主要的結(jié)構(gòu)部件有CCD、光柵尺、伺服電機(jī)、光源系統(tǒng):1.CCD:CCD是一種半導(dǎo)體器件...

  • 2025

    3-11

    特征無需初步樣品處理僅放置樣品即可進(jìn)行無損測量作快速簡便已安裝25條校準(zhǔn)曲線Coffee和Pepper的新校準(zhǔn)曲線規(guī)格測量方法介電常數(shù)應(yīng)用谷物、咖啡、黑胡椒、種子、堅(jiān)果、茶等。測量范圍1-40%(取決于樣品)樣品量240毫升工作溫度范圍0-40°C精度與干燥方法相比,標(biāo)準(zhǔn)誤差為0.5%或更低(所有產(chǎn)品水分含量低于20%)校正功能質(zhì)量、溫度其他功能平均,自動關(guān)機(jī)顯示數(shù)字(LCD)電源4節(jié)1.5V電池(“AA”型堿性電池)尺寸125(W)x205(D)x215(H)毫米重量凈重1...

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