osakavacuum大阪真空節能多級干泵ER100D
osakavacuum大阪真空節能多級干泵ER100D
ER系列:節能多級根泵
ER系列通過其獨特的轉子設計和怠速功能實現了世界**的節能和緊湊性能。憑借耐腐蝕選項,ER系列可在輕型領域如負載鎖和SEM到腐蝕工藝等廣泛應用中運行。
-ER100D/ER100DC在能源效率、輕便和緊湊性方面均為同級*佳之一。
極限壓力下
能耗:400W
占地面積:0.11米2
重量:60公斤
- 有兩種類型可供選擇。
ER100D:用于輕負載、非腐蝕性氣體泵送
ER100DC:采用防腐材料,用于腐蝕性氣體泵送
應用
- 清潔排氣
系統 - 濺射系統
- TMP
的后備真空泵 - 負載鎖定與轉移室
- 小型實驗室系統
- 小型爐子
- 分析設備
- 離子源,電子槍
| 模型 | ER100D/ER100DC | |
| 體積流量(L/min) | 1670 | |
| 基壓(Pa) | 5.0 | |
| 極限壓力(W)下的能量消耗 | 400 | |
| 電源 | 電壓(V) | 200-220 |
| 頻率(Hz) | 50/60 | |
| 階段 | 三相 | |
| 功率能力(kVA) | 3.2 | |
| N2氣體凈化通量(Pa·m3/s) | 17-20 | |
| 冷卻系統 | 水冷 | |
| 所需流量(L/min) | 1.5-3.0 | |
| 所需溫度(°C) | *多30人 | |
| 體重(公斤) | 60 | |
[對應氣體]
某些需要抽空的氣體可能會損壞泵。
請聯系大阪真空,獲取適用的燃氣類型列表。


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更新時間:2025-12-27
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